潔(jié)淨(jìng)室內的氣(qì)流是左右潔淨室性能的重要因素,一(yī)般潔淨室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間(jiān),此氣流速度屬微(wēi)風區域,易受人、機器等的(de)動作而(ér)幹擾趨(qū)於混亂、雖提高風速(sù)可抑製(zhì)此一擾亂之影響而保持(chí)潔淨度、但因風速的(de)提高,將(jiāng)影(yǐng)響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔淨度水(shuǐ)準(zhǔn)之時,能以最適(shì)當的風速供(gòng)應,以達(dá)到適當的風速供應以達到經濟性效(xiào)果。另一方麵欲達到潔淨室潔淨度之穩定效果,均一(yī)氣流之保持亦為一重要(yào)因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁麵,氣流會延著壁麵發生渦流作用,此(cǐ)時要實(shí)現高潔(jié)淨度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持(chí)均一氣流必須:吹出麵的風速(sù)不可有速度上的差(chà)異;地板回風板吸入麵(miàn)之風速不可(kě)有速度上的差異。速度過低或過高(gāo)(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,0.5m/s之速度,氣流(liú)則(zé)較均一,一般潔淨室,其風速均(jun1)取在0.25~0.5m/s之(zhī)間。拆卸式壁板設計,便(biàn)於(yú)在內部對(duì)粉塵顆粒(lì)過濾器進行維(wéi)護;循環氣流或單向氣流模式,當加工操作過程中使用有機溶劑或(huò)產生有害煙霧時,需要采用單向氣流(liú)模式(電子原器件需要額外(wài)的防(fáng)爆檢測並提供證明)再循環氣(qì)流係統產生的熱量(liàng)可以通(tōng)過加裝的冷卻盤管消除;HEPA/ULPA膠封型下沉氣流過濾器可在潔淨工作室內進行更(gèng)換,過濾器膠封技術相比較傳(chuán)統的密(mì)封墊方法(fǎ)在實際使用中(zhōng)更為可靠。