風速控製:潔淨棚(péng)內(nèi)的氣流是左右潔淨室性能的重要因素,一般潔淨室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間(jiān),此氣流速度屬(shǔ)微風區域,易受人、機器等的動(dòng)作而幹擾趨於混亂、雖提高風速可抑製此一擾亂(luàn)之(zhī)影(yǐng)響而保持潔淨度、但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔淨(jìng)度水準之時,能以最適當的風速(sù)供應,以(yǐ)達到(dào)適(shì)當的風速供應以(yǐ)達到經(jīng)濟性效果。
另(lìng)一方麵要達到潔淨室潔淨度的穩定效(xiào)果,均一氣流的保持也是重要因素,均勻氣(qì)流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁麵(miàn),氣流會延著壁麵發生渦流作用,此(cǐ)時要實現(xiàn)高潔淨度(dù)事實上很困難(nán)。
垂(chuí)直層流式方向(xiàng)要保持(chí)均一氣流必須(xū):(a)吹出麵(miàn)的風速不(bú)可有速度(dù)上的差異;(b)地(dì)板回風板吸入麵之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,一般潔淨室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響潔淨度因素:影響潔淨棚的氣流因素很多,如製程設(shè)備、人員、潔淨室組裝材料、照明器具等,同時對於生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。一般操作台或生產設備等表麵的氣(qì)流分流(liú)點,應設於(yú)潔(jié)淨室空間與隔牆板(bǎn)間距2/3之(zhī)處,如(rú)此可使作業人員(yuán)工作時,氣流可從製程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在製程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部份的氣流將流至製程區之(zhī)後,作業員操作所引起的塵埃將被帶(dài)到設備後麵,工作台因而將受到汙染,良率(lǜ)也勢必降(jiàng)低。潔淨室內的(de)工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象(xiàng)發生,相對地在其附近之潔淨度將會較差,在工作桌(zhuō)麵鑽上回風(fēng)孔,將使渦流現象減少最低;組裝材料之(zhī)選擇是(shì)否恰當、設備布局是否(fǒu)完善,亦(yì)為氣(qì)流是否成為渦流現象(xiàng)之(zhī)重要因素。風機從FFU頂部將空氣吸入,經初效過濾器,高(gāo)效過濾器過濾,過濾後的潔淨空氣在整個出(chū)風麵0.45m/s±20%的風速(sù)勻速送出到潔淨棚內。形成均流層,使潔淨空氣氣流呈垂直單向流,從而(ér)保證了工作區內所(suǒ)要求的潔淨度。潔淨棚是能快速(sù)組建的簡易潔(jié)淨室,其具有安裝快速、施工周期短、價格(gé)低廉、移動方便(biàn)等特點,把主要生產(chǎn)工序控製在較小的環境內也是潔淨室設計的最佳選擇。